盛美上海:国泰海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备(上海)股份有限公司使用闲置募集资金临时补充流动资金的核查意见

国泰海通证券股份有限公司
关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司
使用部分闲置募集资金临时补充流动资金的核查意见
国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐人”）作为盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“盛美上海”、“公司”或“发行人”）首次公开发行股票并在科创板上市的持续督导保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等有关规定，对公司使用部分闲置募集资金临时补充流动资金的事项进行了核查，具体情况如下：
一、募集资金基本情况
经中国证券监督管理委员会《关于同意盛美半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2021]2689 号）核准，公司首次公开发行股票 43,355,753 股，每股发行价格为人民币 85.00 元，募集资金总额为人民币 3,685,239,005.00 元，扣除各项发行费用后实际募集资金净额为人民币3,481,258,520.34 元。上述募集资金到位情况已经立信会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具信会师报字[2021]第 ZI10561 号《验资报告》。
为规范公司募集资金管理和使用、保护投资者权益，公司设立了募集资金专项账户，并与保荐机构、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。募集资金到账后，已全部存放于经公司董事会批准开设的募集资金专项账户内。
二、募集资金投资项目的基本情况
根据《盛美半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票并在科创板
上市招股说明书》以及公司于 2022 年 8 月 8 日在上海证券交易所网站
（www.sse.com.cn）披露的《关于使用部分超募资金投资建设新项目的公告》（公
告编号：2022-019）、2023 年 2 月 25 日披露的《关于使用部分超募资金向全资孙
公司增资以实施新建项目的公告》（公告编号：2023-015）、2023 年 8 月 5 日披露
的《关于调整募集资金投资项目内部结构的公告》（公告编号：2023-035）、2023年 10 月 28 日披露的《关于使用超募资金增加募投项目投资额及调整募投项目实
施进度的公告》（公告编号：2023-043）以及 2025 年 1 月 11 日披露的《关于终
止部分募投项目并变更募集资金至其他募投项目的公告》（公告编号：2025-004），公司首次公开发行股票募集资金投资项目情况如下：
单位：万元
序号 项目名称 总投资额 调整前拟投入募 调整后拟投入募
集资金金额 集资金
1 盛美半导体设备 156,890.00 70,000.00 144,500.00
研发与制造中心
盛美半导体高端
2 半导体设备研发 45,000.00 45,000.00 45,000.00
项目
3 补充流动资金 65,000.00 65,000.00 65,000.00
4 高端半导体设备 74,773.07 73,087.15 73,087.15
拓展研发项目
合计 341,663.07 253,087.15 327,587.15
注：公司于2025年1月9日召开第二届董事会第十六次会议和第二届监事会第十五次会议，审议通过了《关于终止部分募投项目并变更募集资金至其他募投项目的议案》，同意公司终止超募资金投资项目“盛美韩国半导体设备研发与制造中心”，并将该项目拟投入的超募资金24,500.00万元变更投入至“盛美半导体设备研发与制造中心”项目。该事项已经2025年2月11日召开的2025年第一次临时股东大会审议通过。具体内容详见公司于2025年1月11日在上海证券交易所（http://www.sse.com.cn）披露的《关于终止部分募投项目并变更募集资金至其他募投项目的公告》（公告编号：2025-004）。
三、前次使用部分闲置募集资金临时补充流动资金的情况
公司于 2024 年 6 月 25 日召开第二届董事会第十一次会议和第二届监事会
第十一次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司拟使用不超过人民币 25,000.00 万元（含本数）的闲置募集资金进行暂时性补充流动资金，到期后，公司将及时归还至募集资金专项账户。2025 年6 月 20 日，公司已将用于暂时补充流动资金的募集资金足额归还至募集资金专用账户，并将上述募集资金的归还情况通知了公司的保荐机构及保荐代表人。
四、本次使用部分闲置募集资金临时补充流动资金的计划

根据募集资金投资项目的资金使用计划及项目的建设进度，公司在确保不影响募集资金投资项目建设进度的前提下，为了提高募集资金使用效率，降低公司财务成本，公司拟使用不超过人民币 25,000.00 万元（含本数）的闲置募集资金临时补充流动资金，使用期限自公司董事会审议通过之日起 12 个月内有效，在有效期内上述额度可以滚动循环使用，并且公司将随时根据募投项目的进展及需求情况及时归还至募集资金专用账户。
本次使用部分闲置募集资金临时补充流动资金仅限用于公司的业务拓展、日常经营等与主营业务相关的生产经营，不会通过直接或者间接安排用于新股配售、申购，或者用于股票及其衍生品种、可转换公司债券等的交易，不会变相改变募集资金用途，不会影响募集资金投资计划的正常进行。
五、本次使用部分闲置募集资金临时补充流动资金计划的董事会审议程序以及是否符合监管要求
公司于 2025 年 6 月 26 日召开了第二届董事会第二十一次会议和第二届监
事会第二十次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金临时补充流动资金的议案》，同意公司在确保不影响募集资金投资项目建设进度的前提下，使用不超过人民币 25,000.00 万元（含本数）的闲置募集资金临时补充流动资金，使用期限自公司董事会审议通过之日起 12 个月内有效，在有效期内上述额度可以滚动循环使用，并且公司将随时根据募投项目的进展及需求情况及时归还至募集资金专用账户。公司履行的审批程序符合相关法律法规规定，符合监管部门的相关监管要求。
六、监事会意见
公司监事会认为：公司本次拟使用部分闲置募集资金临时补充流动资金，有助于提高募集资金使用效率，降低公司财务成本，满足公司阶段性资金需求，符合公司及全体股东的利益。本次事项的审议、决策程序符合《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》以及公司《募集资金管理制度》等相关规定。因此，公司监事会同意公司本次使用部分闲置募集资金临时补充流动资金的事项。

七、保荐人核查意见
经核查，保荐人认为，公司本次使用部分闲置募集资金临时补充流动资金事项已经公司董事会、监事会审议通过，履行了必要的审批程序；本次使用部分闲置募集资金临时补充流动资金系用于与主营业务相关的生产经营，不会通过直接或者间接安排用于新股配售、申购，或者用于股票及其衍生品种、可转换公司债券等的交易；不涉及变相改变募集资金用途，不影响募集资金投资计划的正常进行；本次临时补充流动资金时间未超过12个月；公司已归还已到期的前次用于临时补充流动资金的募集资金，符合《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定及公司募集资金管理制度。保荐人对公司本次使用部分闲置募集资金临时补充流动资金事项无异议。
（以下无正文）
（本页无正文，为《国泰海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司使用部分闲置募集资金临时补充流动资金的核查意见》之签字盖章页）
保荐代表人签名：
张博文 李凌
国泰海通证券股份有限公司
年 月 日